保護(hù)環(huán)境人人有責(zé),粵綠環(huán)保告訴你晶圓研磨如何進(jìn)行廢水切割?
晶圓廢水切割中SS濃度較高首要以單晶硅粉末呈現(xiàn),單晶硅形成的泥粉有著量大,沉積困難等種種缺點(diǎn),絮凝沉積辦法是現(xiàn)在我國(guó)國(guó)內(nèi)首要選用的處理辦法,但是這種處理辦法不僅額外增加了沉積物的量,并且沉積效果不抱負(fù),運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用非常高。而選用一般的有機(jī)膜,晶體在活動(dòng)進(jìn)程中的切削效果會(huì)使有機(jī)膜開(kāi)裂,不僅前期投入高,并且替換頻頻。Ceraflo膜憑仗優(yōu)異的功能,膜片不會(huì)開(kāi)裂,且不需替換;膜親水性好,滲透性強(qiáng),并且能實(shí)現(xiàn)有價(jià)值的單晶硅再回收以及廢水切割的再利用。
新式工藝: 廢水→調(diào)度池→Ceraflo膜過(guò)濾系統(tǒng) →回用
選用傳統(tǒng)工藝缺點(diǎn):
1. 藥劑投加費(fèi)用高,且沉積后上清液仍有懸浮物,無(wú)法合格排放;
2. 后續(xù)再增設(shè)深度處理或吸附設(shè)備,整體處理本錢(qián)高;
3. 吸附設(shè)備歸于耗材,不符合經(jīng)濟(jì)效益;
4. 有機(jī)膜的膜法過(guò)濾,由于硅單質(zhì)四面體結(jié)構(gòu),活動(dòng)進(jìn)程中會(huì)對(duì)有機(jī)膜有磨削效果,使用進(jìn)程中水質(zhì)會(huì)逐步惡化。
Ceraflo膜系統(tǒng)對(duì)必定粒徑范圍內(nèi)的研磨廢水切割是直接過(guò)濾回用的進(jìn)程,整個(gè)過(guò)濾進(jìn)程不需要添加藥劑,可滿(mǎn)意反滲透進(jìn)水要求, Ceraflo膜系統(tǒng)的清洗周期為半個(gè)月以上,恢復(fù)得快速,始終保持較高規(guī)范通量要求。以往可能需要多道過(guò)濾程序,但是現(xiàn)在一套過(guò)濾系統(tǒng)就足夠了,集約化強(qiáng),過(guò)濾水質(zhì)規(guī)范高,單晶硅高倍濃縮之后再回收,發(fā)生恰當(dāng)?shù)慕?jīng)濟(jì)效益。
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